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    关于双活塞压力计的4个重要内容

    返回列表发布日期:2019-08-05 08:55:54    |    


          双活塞压力计是动态压力计,其使用非??焖俚男樱ㄍǔT?4,000和90,000RPM之间旋转)操作。它们的典型工作压力在10 -3和10 -11 mbar 之间的高至超高压范围内,采用10至4,000 l / s的抽速。下面我们将重点为您介绍关于双活塞压力计的工作原理、输送机制、概念以及应用4个重要内容。
    1、工作原理
          双活塞压力计的工作原理是气体分子在被固体表面撞击时将沿特定或有意偏压的方向移动。在这种情况下,固体表面是在腔室内旋转的涡轮型叶片。工作部件与多叶片涡轮机没有什么不同,叶片沿着压力计的整个长度。
    2、输送机制
          有两种主要类型TMP:双活塞压力计和“宽范围”型/双活塞压力计和复合压力计型,“宽范围”TMP可以获得高达几毫米的显著增加的排气压力,因此可以与较小的真空压力计结合使用。转子设计的优点是那些TMP可以处理更高的气体吞吐量并且可以容忍更严苛的工艺条件(例如颗?;蚧页荆?。
          上图描述了每种机构如何与其输送性能相关联,这主要取决于每个概念的具体设计参数,例如级数、间隙等。总体而言,机构是输送性能中最有效的一种。鉴于此,我们的设计更加紧凑。
    3、概念
          双活塞压力计开始使用所有机械转子(通常采用所谓的悬臂设计,在双活塞压力计的下端和下转子级的区域中具有)。然而这些需要润滑,双活塞压力计的寿命取决于机械转子寿命,并且由于双活塞压力计更换是一项专业任务,因此需要在现场外完成。此外,双活塞压力计比其他压力计类型更容易产生不利的转子动力学。不过从正面看,双活塞压力计具有很高的抗外部冲击或冲击通风能力,并且占地面积小。
          双活塞压力计的替代品是主动磁压力计(位于转子的任一端),带有位置传感器和可变磁场控制。与双活塞压力计相比,这些压力计不需要润滑,提供无碳氢化合物操作,压力计的使用寿命不仅限于压力计磨损,并且传动振动非常低。由于没有双活塞压力计TMP能够输送腐蚀性气体,这通?;嵩诙淌奔淠谄苹等蠡难沽?。与双活塞压力计TMP相比,这些单元对外部冲击的耐受性较低。此外,它们具有较大的占地面积并且比使用双活塞压力计单元更昂贵。
          用于TMP的混合压力计采用位于转子“下”端的双活塞压力计,其中一对无源磁压力计位于 “上”端。与双活塞压力计系统相比,该单元的寿命主要受到仅一个双活塞压力计寿命的限制,并且由于没有第二双活塞压力计,所传递的振动也较小?;旌涎沽粕杓剖芤嬗谟欣淖佣ρ?,这也允许在现场进行压力计更换。与完全磁悬浮的TMP类似,混合压力计TMP对外部冲击的耐受性也较低,而且与双活塞压力计设计相比,其占地面积略大。
    4、应用
          双活塞压力计广泛应用于高真空和超高真空应用、涵盖清洁应用(例如分析仪器或研发)以及半导体行业中非??量痰挠τ?,其中双活塞压力计必须处理腐蚀性气体或关键工艺条件。选择最合适的TMP设计需要基于每个应用的要求。重要的是要记住,每个设计(不同的输送机制、压力计设计等)将具有某些优点和缺点,这将决定其是否适合某种应用。
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